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监视技术参数:温度范围170-290K控温精度1K降温速度室温~170K,用时30 min冷却介质低温干燥空气 英国OXFORDCRYOSYSTEM低温冷却系统DESKTOP COOLER
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英国OXFORDCRYOSYSTEMS冷热设备 N-Helix
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牛津仪器PlasmaPro 100 Cobra刻蚀和沉积设备
PlasmaPro 100系列刻蚀和沉积设备可安装多种衬底电极,能够在很宽的温度范围内进行工艺,具有200mm单晶圆和多晶圆批处理能力,该工艺模块可提供具有高度均匀,高产量和高精度的工艺。
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